考慮到清洗液的物理特性對超聲清洗的影響，其中蒸汽壓、表面張力、黏度以及密度是比較顯著的影響因素。溫度也能影響這些因素，所以它也會影響空化作用的效率。
超聲波清洗機的清洗需要在清洗液中進行，水性系統通常由敞口槽組成，工件浸沒其中，而復雜的系統會由多個槽組成，并配備循環過濾系統、沖淋槽、干燥槽以及其它附件。
對于比較難以用清水環境下清洗干凈的工件，就需要使用化學藥劑了，一般常見的就是超聲波汽相除油脂清洗機，常配備廢液連續回收裝置。超聲波汽相除油脂過程是由溶劑蒸發槽和超聲浸洗槽組成的集成式多槽系統完成的。在熱的溶劑蒸汽和超聲激蕩共同作用下，油、脂、蠟以及其他溶于溶劑的污垢就被除去。
